[ULPA(Ultra Low Penetration AirFilter,ULPA)：隨著超規模集成電路的發展，人們又開發出了針對0.1μm粒子(塵源仍是DOP)的超過濾器，其過濾效率達到了99.99995%以上，命名為ULPA過濾器。ULPA與HEPA相比，濾料結構更緊湊、過濾效率更高。ULPA暫時主要用於電子行業，在製藥和醫療部門尚未見到應用的報告。

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